XP-703DIII 半导体材料气体检测仪 日本 cosmos 新宇宙

2025-02-11 14:41:33 admin

XP-703DIII 半导体材料气体检测仪 日本 cosmos 新宇宙

特徵

  • 檢測半導體材料氣體的微小氣體外洩。

  • 警報聲(斷續聲)的快慢隨著氣體濃度的變化而逐漸變化,當濃度達到較高水平時,發出連續的聲音,便於辨識氣體外洩的位置。

  • 一台裝置可處理各種半導體材料氣體(胂、磷化氫、乙硼烷、矽烷、氫氣等)。

  • 比傳統產品更小、更輕。機身小巧,可輕鬆握在手中。

  • 搭載液晶螢幕,輕鬆掌握設備狀態(電池電量、幫浦狀態等)

  • 設備正面及底部兩處安裝警報燈,一眼掌握現場警報狀況

  • 相當於防護等級 IP22 (JIS C 0920)*。 *配備皮套時

  • 符合歐盟CE認證



規格

產品型號
XP-703DIII
偵測氣體
半導體材料氣體(胂、磷化氫、乙硼烷、矽烷、氫氣)
氣體採樣方式
自動吸引式
偵測原理
熱線型半導體式

乙硼烷
矽烷
可檢測洩漏量
2.53×10 -7
Pa· m3 /s
1.52×10 -7
Pa· m3 /s
1.01×10 -7
Pa· m3 /s
2.53×10 -7
Pa· m3 /s
5.07×10 -7
Pa· m3 /s
可檢測濃度
0.5ppm
0.3ppm0.2ppm0.5ppm1.0ppm
反應時間
10秒內(濃度為可偵測濃度三倍的氣體的靈敏度設定[4])
顯示方式
間歇聲及警報燈閃爍
電源
AA鹼性電池*2顆
連續使用時間*1
約12小時(AA鹼性電池)[常溫常濕下]
防護等級*2
相當於IP22
使用溫度範圍
0℃~+40℃ 85%RH以下(無凝血)
尺寸
W38×H130×D32mm(不含突出部)
重量
約190公克(含電池和皮套)
標準配件
皮套、排水過濾器、更換過濾器、配件、檢測氣體、手帶、2顆AA鹼性電池等。

*1 根據環境條件、使用條件、電池製造商等的不同,可能會有所不同。
*2 配備皮套時。



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